三坐标测量机的发展历经半个多世纪。它的出现是工业化发展的历史必然。一方面是由于自动机床、数控机床等加工的发展以及越来越多复杂形状零件加工需要有快速---的测量设备与之配套；另一方面是由于电子技术、计算机技术、数控技术以及精密加工技术的发展为其提供了技术基础。坐标测量机的出现使得测量仪器从手动方式向现代化自动测量的转变成为可能。
2:将这些点的坐标数值经过计算机处理，拟合形成测量元素，如圆、球、圆柱、圆锥、曲面等，经过数学计算的方法得出其形状、位置公差及其他几何量数据；
3:在测量领域中，便携式三坐标检测报告，光栅尺及以后的容栅、磁栅、激光干涉仪的出现；
4:上海三坐标测量仪可定义为“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号；
5:三个轴的位移测量系统 ( 如光学尺 ) 经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(x、y、z)及各项功能测量的仪器”；
6:三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度测量、定位精度测量、几何精度测量及轮廓精度测量等。
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与传统测量仪器是将被测量和机械基准进行比较测量不同的是，坐标测量机的测量实际上是基于空间点坐标的和计算。虽然现代的测量机比早期的功能要很多，便携式三坐标检测，但基本原理是相同的，便携式三坐标检测仪优点，即建一个刚性的结构，此结构有三个互相垂直的轴，每个轴向安装光栅尺，并分别定义为x、y、z轴。为了让每个轴能够移动，每个轴向装有空气轴承或机械轴承。
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